默克公司週四在忠清北道陰城郡開設了一家新的半導體沉積關鍵材料生產廠,這凸顯了該公司致力於擴大其在韓國晶片產業的影響力,並加強本地供應鏈的決心。
據該公司稱,新工廠生產用於半導體製造的鉬前驅體溶液。默克電子新任執行長本傑明·海因、薄膜業務負責人韓冰及其他公司高管出席了開幕儀式,忠清北道知事申容漢發表了祝賀視頻致辭。這是海因自今年5月就任默克電子執行長以來首次訪問韓國。
在開幕式前一天的新聞發布會上,海因表示,客戶越來越希望獲得本地支援的整合解決方案,這需要默克公司的材料業務與其交付系統和服務業務之間更緊密的合作。
在該工廠,默克將生產一系列鉬前驅體,包括二氯化鉬,這是一種用於化學氣相沉積和原子層沉積過程的特殊前驅體。這些前驅體將作為整合解決方案的一部分,供應給附近的晶片製造商。此整合解決方案將這些材料與默克的CHEMCEEPER Vapor 200輸送系統結合。
默克公司表示,該解決方案將透過結合其材料業務與輸送系統、計量和檢測能力,支援大批量半導體製造,提高製程效率,並將材料利用率提高到 99%。
隨著晶片製造商越來越多地採用垂直堆疊儲存單元的3D NAND架構,鉬正日益受到市場關注。晶片製造商傳統上使用鎢作為控制儲存單元運作的金屬電極,但隨著半導體結構變得越來越複雜,空間也越來越有限,他們越來越需要電阻更低的材料。















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